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  • 精密恒温恒湿机
    精密恒温恒湿机

    精密恒温恒湿机在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值±0.01℃，充分满足制程环境对温控的要求。

    更新时间：2025-08-13
    产物型号：
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  • 半导体恒温系统
    半导体恒温系统

    半导体恒温系统主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器（部分设备）、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用笔滨顿控制技术，高清显示屏，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

    更新时间：2025-08-12
    产物型号：
    浏览量：5570
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