普泰克制冷设备
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颁丑颈濒濒别谤主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了肠丑颈濒濒别谤的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃词85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。
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