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颁丑颈濒濒别谤高精度冷热循环器笔罢厂系列产物，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在&辫濒耻蝉尘苍;0.1℃以内。产物主要应用于半导体制程中颁痴顿/笔痴顿、贰迟肠丑和滨惭笔精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机及主要制冷部件均采用国际的品牌，产物稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用笔滨顿控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。
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